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引言! T+ y; b( {1 T( B! z1 ~# {9 y4 ^
半导体行业不断推动芯片性能、能效和密度的边界。进入2024年,3D集成电路(3DIC)已成为这一不懈追求中的下一个前沿。台湾积体电路制造公司(TSMC)通过其创新的3DBlox框架,在简化3DIC设计过程方面取得了显著进展。# _' C3 u4 l/ s* B% N% O; k
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本文将探讨TSMC开发3DBlox的历程,从其起源到2024年的最新创新。研究3DIC设计面临的挑战,以及TSMC的解决方案如何为更高效和可扩展的3D集成提供支持[1]。
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3DBlox的诞生
5 v4 C$ Q7 j3 w# p$ h B8 n2022年,TSMC开始探索如何表示其3DFabric产品,特别关注两项关键技术:晶圆上晶片上基板(CoWoS)和集成扇出(INFO)。CoWoS使用硅中介层集成芯片,而INFO使用重分布层(RDL)中介层。TSMC的创新导致了混合方法的产生,如CoWoS-R(用RDL技术替代硅中介层)和CoWoS-L(集成局部硅互连)。' v; V3 ?: S' g' t) ?
0 f* l# i3 a' W( U0 l! @: d随着这些产品的复杂性增加,TSMC认识到需要一种系统的表示方法。这一认识催生了3DBlox,一种旨在高效建模各种3DIC配置的标准化设计语言。该框架专注于三个关键元素:Chiplet、Chiplet接口和接口之间的连接。' ~- V: x( C; X* i
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3DBlox的演进:2023年发展
0 z2 {7 l& _ b4 W* c8 J* G/ P到2023年,TSMC已经改进了重点,解决3DIC设计的两个关键方面:Chiplet重用和设计可行性。公司引入了一种自上而下的方法进行早期设计探索,使TSMC及其客户能够在所有设计细节确定之前进行初步的电气和热分析。4 g' t6 N& M4 u6 C! K5 ~
) y. G; c% A2 g: q一项重大进展是开发了一个系统,允许Chiplet被镜像、旋转或翻转,同时保持Chiplet信息的主列表。这一创新导致了跨多个Chiplet的设计规则检查方法的简化,大大提高了设计过程的效率。" S _& [7 W* S' N; y
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克服复杂性:2024年创新+ x+ d; P" t0 `* ?
随着3DIC系统变得更加复杂,TSMC在2024年面临新的挑战。关键创新是在处理3D设计挑战方面的范式转变。通过将这些复杂的3D问题分解为更易管理的2D问题,TSMC能够利用已建立的2D设计解决方案,简化整个过程。
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公司在3D布局规划阶段专注于三个关键元素:总线、硅通孔(TSV)和电源/地(PG)结构。一旦定位,这些元素被转换为二维问题,允许设计师应用熟悉的2D设计技术来解决3D挑战。; Y' Z/ u3 E! x5 J
9 H+ V: c# ?# y2024年关键技术发展
- Q, J! M; G% {. N3 i/ XTSMC在2024年最大化3DIC设计生产力的努力集中在五个主要领域:: B& |- D5 H) V& D1 ?
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1. 设计规划
! a* y4 K; r9 ]( C, o在3DIC系统中,总线、TSV和PG结构的放置需要仔细考虑电气和物理约束,特别是电迁移和IR(EMIR)约束。TSMC开发了创新解决方案来管理这些复杂性:
7 ^; x$ d. ~% I8 j5 Z. l0 r+ S% U将单个TSV实体转换为密度值进行数值建模利用人工智能驱动的引擎(如Cadence Cerebrus智能芯片探索器和Synopsys DSO.ai)探索解决方案空间通过与关键客户合作强调芯片-封装共同设计1 y2 p; r% D" G4 O6 V4 f
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2. 实现+ s" B0 V) y5 d* @( a2 l
随着客户推动增加Chiplet重用,TSMC增强了3DBlox语言以支持不断增长的3DIC设计:: c! y' _6 Z6 }2 h' a
在3DBlox中开发分层解决方案识别四种主要类型的对准标记在布局布线流程中自动插入标记3 V3 o+ B( \- s" l8 a# D" u
' _2 a8 j9 s# o& n2 t( P/ f2 H3. 分析
, g0 X) s* k. D$ I3 o多物理场相互作用,特别是热问题,在3DIC设计中变得更加突出。TSMC通过以下方式解决这些挑战:
, v1 Z( P- u- ~& t开发一个通用数据库,允许不同引擎根据预定义标准进行交互和收敛引入翘曲分析工具,这对较大的3DIC Fabric至关重要创建Mech Tech文件以促进应力模拟1 v% v4 A- S8 R- M4 t
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4. 物理验证
$ h3 M! Z3 y X j9 kTSMC解决了3DIC设计中的关键验证挑战:/ p0 _/ O3 J3 F& m' B
通过与EDA合作伙伴合作解决天线效应增强复杂多芯片配置的布局与原理图(LVS)验证在3DBlox中开发自动生成工具,以准确验证任何配置
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5. 基板布线1 J) E$ b! g3 m* r
随着3DIC集成规模的扩大,基板布线的复杂性也随之增加。TSMC在这一领域的创新包括:. o' j; A" A- o+ ?0 p
改进中介层基板Tech文件格式以建模高度复杂的结构将tear drops等详细元素纳入模型通过3DFabric联盟与OSAT合作伙伴合作支持新格式$ C3 D6 T- S7 ^+ N
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3DBlox对3DIC设计的影响
7 _- V9 u: x8 R1 M! A! r7 V4 iTSMC的3DBlox框架彻底改变了3DIC设计过程,提供了几个关键优势:标准化:通过提供表示3DIC配置的通用语言和格式,3DBlox简化了不同设计团队和工具之间的沟通。早期设计探索:自上而下的方法使设计师能够在设计过程的早期阶段进行关键分析,减少后期昂贵的迭代。高效Chiplet重用:镜像、旋转和翻转Chiplet的能力,同时保持一致的信息,增强了设计组件的可重用性。简化复杂性管理:通过将3D问题分解为2D解决方案,3DBlox使设计师更容易处理3DIC系统的固有复杂性。增强多物理场分析:不同分析引擎的通用数据库允许更准确地建模3DIC设计中的复杂相互作用。改进验证:DRC和LVS验证的进步确保了日益复杂的3DIC设计的完整性和可制造性。可扩展性:随着3DIC设计在规模和复杂性上的增长,3DBlox提供了一个可以适应新挑战和要求的灵活框架。
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3 [2 V h) W! V, t. \+ I( b$ }未来展望
/ p+ `) r* B( z! F8 Y- S随着半导体行业继续推动集成和性能的边界,3DBlox在实现先进3DIC设计方面的作用将会增长。TSMC计划通过IEEE公开3DBlox标准,这一承诺表明了公司的创新精神,促进了行业内更广泛的采用和协作开发。
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3DIC设计的挑战远未结束,但有了像3DBlox这样的框架,业界已经做好了应对未来芯片设计复杂性的准备。展望未来,可以期待3DBlox的进一步改进和增强,实现更复杂的3DIC配置,推动半导体技术的极限。
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结论- {- U" c; C. d3 C$ }
TSMC的3DBlox框架代表了3DIC设计方法的进步。通过解决设计规划、实现、分析、验证和基板布线的关键挑战,3DBlox为更高效和可扩展的3DIC解决方案提供了支持。随着行业朝着越来越复杂和高性能的芯片设计发展,3DBlox这样的工具将在将创新概念转化为可制造的现实方面发挥关键作用。3DBlox从2022年到2024年的发展展示了半导体行业创新的快速步伐,为未来几年的令人兴奋的发展奠定了基础。+ y% w5 c# S( @9 p
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参考文献" p7 h- ~; Y0 ]2 Y) l
[1] K. Rajendiran, "Maximizing 3DIC Design Productivity with 3DBlox: A Look at TSMC's Progress and Innovations in 2024," SemiWiki, Oct. 08, 2024. [Online].Available:https://semiwiki.com/ip/349657-maximizing-3dic-design-productivity-with-3dblox-a-look-at-tsmcs-progress-and-innovations-in-2024/
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关于我们:
1 n6 [+ G& |3 c- _6 t) P6 p U深圳逍遥科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家专注于半导体芯片设计自动化(EDA)的高科技软件公司。我们自主开发特色工艺芯片设计和仿真软件,提供成熟的设计解决方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分别针对光电芯片、微机电系统、超透镜的设计与仿真。我们提供特色工艺的半导体芯片集成电路版图、IP和PDK工程服务,广泛服务于光通讯、光计算、光量子通信和微纳光子器件领域的头部客户。逍遥科技与国内外晶圆代工厂及硅光/MEMS中试线合作,推动特色工艺半导体产业链发展,致力于为客户提供前沿技术与服务。3 X7 v5 D! i) E, w
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