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引言0 k; q: V- D8 m9 P5 _& p
半导体行业不断发展,推动技术边界,以满足对更快、更高效、更强大电子设备的持续增长需求。这一领域的关键创新之一是先进半导体封装。本文簡介2.5D和3D封装技术的发展、优势和挑战,以及在各种应用中的影响[1]。
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/ R" E( E% ~; F2 \) W! j) R3 j半导体封装的演变1 v) X8 r$ _" Z4 v6 @$ E' E$ N
半导体封装技术已从最初的1D PCB水平发展到今天的晶圆级3D混合键合封装。这一进步实现了单位数微米的互连间距,能够以高能效达到超过1000 GB/s的带宽。
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四个关键参数塑造了先进半导体封装的发展:功率:通过创新封装技术提高功率效率。性能:通过缩短互连间距增加输入/输出(I/O)点数,提高带宽并减少通信长度。面积:高性能计算芯片需要更大的封装面积,而3D集成则需要更小的z轴尺寸。成本:通过使用替代的更经济材料或提高制造设备效率,持续降低封装成本。
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2.5D封装技术! [' _7 z" s; T; J) h% x
2.5D封装技术涉及使用中间层连接多个芯片。根据中间层材料的选择,2.5D封装分为三种主要类型:
2 k" {) }, u* f6 p. S7 H1. 硅基中间层:
6 L5 G+ t4 F0 x T4 @+ a) L3 n两种选择:硅中间层(全被动硅晶圆)和硅桥(扇出式模塑化合物中的局部硅桥或带腔基板)。优势:最精细的布线特征,适用于高性能计算集成。挑战:材料和制造成本较高,封装面积限制。未来趋势:增加使用局部硅桥以解决面积限制和成本问题。7 M& i. H$ x& D8 `' u
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: ]) q/ {3 |9 x* W2. 有机基中间层:
: Z! q* s, Y9 m7 l使用扇出式模塑化合物而非有机基板。优势:介电常数低于硅(较低的RC延迟),更具成本效益。挑战:难以达到与硅基封装相同水平的互连特征缩减。2 E! _3 B3 i4 _3 N& b7 M
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3. 玻璃基中间层:+ y- I3 U7 S4 U9 e! n7 b* n
优势:可调热膨胀系数(CTE),高尺寸稳定性,光滑平整的表面。布线特征有潜力与硅媲美。挑战:生态系统不成熟,目前缺乏大规模量产能力。
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5 S) q/ U6 C) y3 Q3 r! C6 B9 g3D封装技术" e1 r1 Z, {/ v; c
3D封装技术专注于芯片的垂直堆叠,主要有两种方法:1 e7 v" u6 U. ^3 z
1. 微凸点技术:
0 Q6 l& Z- f8 n1 o/ Y; J- a- J基于热压焊接(TCB)工艺。技术成熟,应用于多种产品。持续努力缩小凸点间距。挑战:较小焊球中金属间化合物(IMCs)形成增加,潜在的焊球桥接问题,与铜相比电阻率较高。5 M! }& {; x* r5 ^, s) N& }
4 K9 q+ \, S! h( L! o, _* V2. 混合键合:6 { k5 B6 ]2 L' O& f- L) ~
通过结合介电材料(SiO2)和嵌入金属(Cu)创建永久互连。实现低于10微米(通常为个位数μm)的间距。优势:扩展I/O,增加带宽,增强3D垂直堆叠,提高功率效率,减少寄生效应和热阻。挑战:制造复杂性和较高成本。
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应用和市场影响 ~0 l8 L. E: q. z! M" P& ~
先进半导体封装技术在多个关键市场中找到应用:" k5 C: d* y) m, [6 _& N! C: y
1. 人工智能和数据中心:* v6 ?! x" n! X% k' t: @/ r4 R7 D
推动对高性能计算解决方案的需求。需要能够处理增加的功率和性能需求的封装技术。
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' H; m: Q# D- ~, o' f2. 5G网络:, N8 c( M# _$ h! D! w9 j
先进封装对5G无线电和网络基础设施至关重要。实现更高频率和增加带宽。; Z, h2 ^4 ~, E7 j3 j! ?4 b4 V. G) x2 T
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3. 自动驾驶汽车:2 z6 B% a% C: g
需要先进封装用于传感器、处理器和通信系统。强调在恶劣环境中的可靠性和性能。
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4. 消费电子:3 C7 _- V5 m; S
智能手机、平板电脑、智能手表和AR/VR设备受益于更小的尺寸和更高的性能。先进封装实现在紧凑设计中集成多种功能。
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4 [ K& d" j( u4 L) F6 {" p5 A1 h/ U8 V未来展望
# w. U5 u0 M. j/ N* J3 B2 c先进半导体封装行业将迎来显著增长和创新。需要关注的主要趋势包括:, d* E% s; l) c" ?' \
互连间距持续缩小,特别是混合键合技术。开发新材料和工艺以解决热管理和功率效率挑战。增加采用基于chiplet的设计和异构集成。玻璃基中间层技术的成熟和潜在的广泛采用。制造工艺的进步,以降低成本和提高良率。* e2 w: l& k2 e( L8 @0 ]
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随着对更强大、更高效电子设备需求的持续增长,先进半导体封装将在实现下一代技术方面发挥关键作用。从人工智能和5G到自动驾驶汽车及更多领域,这些封装创新将成为日益互联和智能世界的核心。
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参考文献
9 o3 l: [: f+ }" g+ Y[1] IDTechEx, "Advanced Semiconductor Packaging 2024-2034: Forecasts, Technologies, Applications," IDTechEx, Jan. 11, 2024. [Online]. Available: https://www.azonano.com/news.aspx?newsID=40634.2 D0 B5 n2 S5 r G
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8 |8 w" f6 ^0 f* P关于我们:6 s" t1 q& W( e; [) y9 e. i( m
深圳逍遥科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家专注于半导体芯片设计自动化(EDA)的高科技软件公司。我们自主开发特色工艺芯片设计和仿真软件,提供成熟的设计解决方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分别针对光电芯片、微机电系统、超透镜的设计与仿真。我们提供特色工艺的半导体芯片集成电路版图、IP和PDK工程服务,广泛服务于光通讯、光计算、光量子通信和微纳光子器件领域的头部客户。逍遥科技与国内外晶圆代工厂及硅光/MEMS中试线合作,推动特色工艺半导体产业链发展,致力于为客户提供前沿技术与服务。2 S3 E, l3 Q# [% n5 @8 x
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