讯石专访逍遥科技：探索MEMS Studio创新方案，协同并进共创未来

逍遥设计自动化

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新闻导读
. y  @; @" n7 I- w, _$ V, e逍遥科技携创新MEMS Studio解决方案亮相第五届中国MEMS制造大会。MEMS Studio集成设计仿真，支持多物理场仿真，提高设计效率，降低成本，推动MEMS技术发展。
5 x- [- R4 i! O1 x近期，第五届中国MEMS制造大会在苏州国际博览中心盛大开幕，芯片解决方案领先企业——天府逍遥（成都）科技有限公司（以下简称“逍遥科技”或“公司”）携MEMS Studio创新解决方案亮相展会。讯石光通讯网有幸对话逍遥科技，将通过Q&A问答形式，带领大家深入了解逍遥科技在MEMS领域的最新动态与进展。


/ G% j2 c! a) T2 }( l8 pQ1：出席本次苏州MEMS大会，逍遥重点展示的产品、技术有哪些？在MEMS技术领域，逍遥是否取得新成就、新突破？方便请举例。
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A1：此次出席苏州MEMS大会，逍遥科技重点展示了新产品线——MEMS Studio，这是公司为MEMS器件设计开发者打造的一款集成化设计和仿真自动化解决方案。

* W9 v1 l2 t7 }( V( y* J  {MEMS Studio的主要亮点包括其集成的设计与仿真功能，以及将有限元方法（FEM）与半导体制造标准操作流程无缝结合，基于下游工艺材料和边界条件集成DRC规则检查，支持行业标准设备布局文件格式（GDSII和OASIS），通过精细的网格划分保证精度的同时实现2D到3D的转换，通过python api可自由选择外接功能库，帮助开发人员在一个平台上完成从概念设计到仿真的全流程。

MEMS Studio基于以上几点特性，提供全面集成的端到端解决方案，帮助设计师建立以下优势：
1. 设计初期提高就确保封装可行性，减小设计修改次数，显著提高效率，缩短了设计周期；
2. 仿真结果紧密贴近半导体实际生产流程，加快产品研发速度，降低开发成本；
! T$ A. s* r; n# d" n3. 多物理场仿真功能集合，一站式解决方案。
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Q2：在物联网和人工智能技术的推动下，MEMS产品正向智能化和网络化迈进，通过集成传感器、执行器和通信模块等组件，实现更加复杂和多样化的功能。面对这一趋势，逍遥将如何发挥技术优势，维持公司的核心竞争力？
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8 h: y2 _& ^# ]! G4 SA2：物联网（IoT）和人工智能（AI）的迅猛发展确实为MEMS技术带来了巨大的机遇和挑战。面对智能化和网络化的发展浪潮，逍遥科技正致力于通过多物理场仿真与系统级集成，结合在半导体行业的深厚工艺经验，以及开放生态和跨领域合作，充分发挥自身的技术优势。
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4 `  l) ^3 h, U* D( f随着MEMS产品向智能化和多功能化发展，单一物理场的设计和仿真已无法满足复杂应用的需求。逍遥科技凭借MEMS Studio的多物理场仿真能力，将电学、热学、流体、结构力学等多种物理场结合在一个平台中进行耦合仿真。这一功能尤其适用于IoT设备中的多功能MEMS器件，如集成传感器、执行器、通信模块的复合设备。
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) V0 Q) ]7 k  f  A* G+ yMEMS Studio在处理复杂应用时的具体能力：
1. 在电容式MEMS加速度计的设计中，MEMS Studio可以进行精确的模态分析，这对于汽车安全气囊系统、可穿戴设备和光学防抖装置等应用至关重要。
& H% W& x- B6 e1 r2. 在Chiplet的热管理方面，MEMS Studio能够进行精确的热分布仿真，这对于提升系统性能和可靠性具有重要意义。
3. 在光路交换(OCS)装置设计中，MEMS Studio能够精确模拟MEMS器件在不同电压下的位移情况，这对于实现高速数据传输和降低通信延迟具有重要价值。
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* b+ Y$ I2 T9 s/ M7 D举例来说，针对智能穿戴设备中的微型传感器，MEMS Studio能够在设计阶段就考虑到其在高温、高湿、低电量环境下的工作性能，确保产品在各种场景下的稳定性和高效性。
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Q3：随着全球经济的复苏和新兴市场的发展，MEMS领域的产品需求不断增加，推动了市场的增长。对此，逍遥是否实施举措来迎接这一趋势？认为哪些因素将对公司/行业产生巨大的影响？


9 F5 T# e1 }' s* q2 O* dA3：在全球经济复苏和新兴市场的推动下，MEMS产品的市场需求的确呈现出了强劲的增长趋势。面对这一趋势，公司已经在多个层面积极应对，以确保能够抓住机遇并保持市场竞争力。
/ N+ n* S. x4 x5 \1. 设立区域研发和支持中心：针对华北、华东、华南、西南等市场，我们已设立区域性的研发和技术支持中心，确保能够提供本地化的解决方案和快速响应客户需求。
. z" P$ r9 `7 m1 T2. 加大研发投资，迎接技术变革：技术创新将是维持公司竞争力的核心因素，逍遥科技将会持续性对研发进行投入，吸收来自行业领域的经验，完善产品的功能
3. 打造行业生态，推进产学研协同发展：国内在MEMS行业积累还不足，通过加强本地合作伙伴关系，积极寻求与当地的科技公司、高校研究机构和政府的合作，推动MEMS在物联网、智能制造和汽车电子等领域的应用，完善产业生态链。


Q4：MEMS Studio作为逍遥科技的重要产品，能否详细介绍其在多物理场仿真方面的具体优势和特色？


A4：MEMS Studio通过集成OOFELIE多物理场求解器，为用户提供了强大而全面的仿真分析能力。
1. 在物理场支持方面，我们的平台不仅覆盖了力学、电学、热学和声学等基础物理场，还能实现这些物理场之间的深度耦合分析，比如热-力耦合、压电-热耦合、静电场分析以及流固耦合等复杂物理过程的模拟。
2. 在分析功能方面，MEMS Studio提供了全面的解决方案，包括静态分析、模态分析、谐波分析和瞬态分析等，这些分析既可以是线性的也可以是非线性的，满足不同应用场景的需求。
3. 我们特别关注计算性能的优化，通过支持OpenMP和MPI并行计算以及CUDA-GPU加速，结合高效的网格划分算法，显著提升了复杂问题的求解速度。

( v% q1 V$ P! ]这种全面而深入的多物理场仿真能力，使得MEMS Studio能够准确模拟MEMS器件在实际应用环境中的复杂行为，为用户提供可靠的设计优化依据。


4 y+ T% t& V- R+ c( [( r! v1 X7 tQ5：在当前MEMS行业发展趋势下，逍遥科技如何看待工艺与设计的协同发展？MEMS Studio在这方面有哪些具体举措？

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7 F) @0 f3 B4 i" O! z6 N/ q- rA5：在MEMS产业的发展过程中，工艺与设计的协同合作是打破发展瓶颈的关键手段。MEMS Studio的创建正是基于这一核心理念，旨在提供一个全面的解决方案。我司深刻理解工艺与设计之间的紧密联系，因此在开发该平台时，特别强调了以工艺为导向的设计流程的构建，以确保两者之间的无缝协作。平台支持主流的GDSII和OASIS文件格式，并提供基于实际工艺的材料库和边界条件设置，同时集成了DRC规则检查功能，进一步确保了设计成果与实际工艺规范的一致性。
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在工艺建模领域，我们提供对工艺步骤的精细定义能力，允许用户精确配置材料特性、操作高度等关键工艺参数，以确保工艺对器件性能的影响得到充分考量。这一特性也在公司的多个实际应用案例中得到了证实，无论是电容式MEMS加速度计的设计、Chiplet的热管理，还是光路交换器的开发，都展现出了卓越的工艺适配性。

( j" `$ ~' O+ s0 v6 w为了更好地满足不同客户的个性化需求，我们通过Python API接口提供了高度的开放性，支持与第三方工具的数据交互，方便用户根据具体工艺需求进行功能扩展。这种设计理念确保了MEMS Studio能够帮助客户缩短产品开发周期，降低研发风险，加快产品导入量产的进程。我们相信，只有通过设计与工艺的深度协同，才能真正推动MEMS技术的创新发展。
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' m( j; F0 M& z% j3 K& m. YQ6：参与本次大会，逍遥有哪些特别的期待或准备？是否有您印象深刻的亮眼产品/技术？方便请举例。

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A6:
6 l/ h: N( D8 }$ A+ b4 k期待与准备：本次大会，逍遥精心策划了一系列展示内容，旨在为与会者提供深入的洞见。在展台上，我们重点展示了MEMS Studio平台在多个实际应用场景中的解决方案，特别是在电容式MEMS加速度计设计与仿真、Chiplet 2.5D整合中的热管理方案，以及基于MEMS的光路交换装置设计等领域的具体应用。这些案例都充分体现了我们的产品在实际工程中的价值。
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) r, R4 q+ F, c$ q  [: j, F3 ]在技术交流环节，我们期待与行业专家共同探讨MEMS设计自动化的最新趋势、多物理场耦合仿真技术的创新进展，以及工艺与设计的协同优化等热点议题。这些议题不仅是当前MEMS产业发展的关键问题，也是我们持续关注和创新的方向。

7 Z* Y6 U3 h9 e( u2 w/ k此外，我们还安排了现场演示环节，通过实际操作向与会者展示MEMS Studio的核心技术优势。观众可以直观地了解到我们平台的全流程设计仿真能力，体验高精度网格划分技术的效果，以及集成的DRC规则检查功能如何帮助设计者提前发现和解决问题。我们希望通过这些互动性的展示，让业界更加深入地理解我们的技术实力和产品特色。

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亮眼产品/技术：大会上，SITRI与中国科学院上海微系统与信息技术研究所合作，为客户提供设计、模拟、与晶圆代工工艺兼容的微纳制造技术、先进封装技术以及系统集成方面的专业知识。逍遥发现，SITRI开创性地建立了国内首个全面的MEMS+IC软件设计平台，为合作伙伴和客户的方案设计提供强大支持。同时，SITRI还开发了一个由高性能MEMS和IC设计、仿真单元组成的IP库，极大地促进了MEMS-IC设计的快速迭代和性能提升。这个IP库提供了经过验证、随时可用的设计单元，有效降低了MEMS设计人员在EDA设计中的工作难度，并显著减少了设计成本。


Q7：逍遥本次的参会体验如何？未来的计划或展望，欢迎分享。其他问题请自由补充。
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A7：此次展会展现了高度的专业水准，吸引了众多竞品公司和专业客户前来咨询，显示出资源的丰富性。同时，本届纳博会的国际展团阵容十分强大，日本与韩国企业以组团形式参展，携手欧洲等国际展团，如科磊半导体（KLA）、爱发科、基恩士、卡尔蔡司、i-ROM等50余家国际知名企业参展，为观众带来了国际化的视角和前沿的技术体验。

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1 c' ~. I/ r* S+ ]& ?3 t* h4 k3 n5 k最后谈及公司未来发展的计划，逍遥科技表示将持续完善MEMS Studio功能，提供更多元化的仿真分析能力，扩大技术服务范围，为更多细分领域提供专业解决方案。并将加强与产业链上下游的合作，推动MEMS技术在新兴应用领域的发展，构建一个更加完善的技术支持框架，致力于提供卓越的客户服务体验。
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1 w: Q* A+ S9 V4 x) R" l关于我们：
深圳逍遥科技有限公司（Latitude Design Automation Inc.）是一家专注于半导体芯片设计自动化（EDA）的高科技软件公司。我们自主开发特色工艺芯片设计和仿真软件，提供成熟的设计解决方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio，分别针对光电芯片、微机电系统、超透镜的设计与仿真。我们提供特色工艺的半导体芯片集成电路版图、IP和PDK工程服务，广泛服务于光通讯、光计算、光量子通信和微纳光子器件领域的头部客户。逍遥科技与国内外晶圆代工厂及硅光/MEMS中试线合作，推动特色工艺半导体产业链发展，致力于为客户提供前沿技术与服务。

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