集成规模的理解, f9 W, W# `% p
电子系统集成技术已经从简单的2D排列发展到复杂的4D结构。集成规模可分为三个主要类别:IC的纳米级集成(以nm为单位)、SiP或先进封装的微米级集成(以μm为单位)以及PCB的毫米级集成(以mm为单位)[1]。8 H% ^# [* T# T
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图1展示了集成规模示意图,说明了IC、SiP和PCB技术在不同尺度范围的分布及其重叠区域。. u9 m E) I$ C& Q
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2D集成基础技术# ?8 h7 B$ ^+ R B4 n& P
2D集成是最基本的集成形式,所有组件都水平安装在基板表面上。这种方法常用于多芯片模块(MCM)和基本的系统级封装(SiP)设计。电气连接通过基板实现,组件直接与安装表面接触。
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! g0 d5 l# q/ V) w& o图2展示了2D集成定义图,描述了组件水平安装在基板平面上,电气连接通过基板实现的方式。
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图3展示了使用2D集成的SiP实例,展现了水平组件安装的实际应用。0 |9 E9 u; Q' Z: p0 _* H4 Q0 c
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2D+集成技术进展
( z8 x3 ?, ^/ \2D+集成是2D排列的改进版本,引入了垂直堆叠,同时保持基板级电气连接。这种技术提供了三种主要的堆叠配置:金字塔式、悬臂式和并排堆叠。: _& b4 L7 r# Y1 e
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图4展示了2D+集成的三种主要类型:金字塔芯片堆叠、带间隔物的悬臂芯片堆叠以及并排堆叠配置。
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: Y# g- u$ j0 K/ S9 `; e& J( ]' Q2.5D集成技术
* V! }. l- I5 |* @2.5D集成在芯片和基板之间引入了中间层,实现了更高的集成密度和更好的电气性能。这种方法可以使用多种中间层材料,包括硅、玻璃或陶瓷,每种材料都具有特定应用的优势。! o; ~; a6 ]1 Y0 O
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9 B, z# h/ A/ B图5展示了带TSV和不带TSV的硅中间层2.5D集成实现方式,展示了不同的中间层连接方法。7 M; f6 p5 v2 L/ d
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3D集成技术
, f6 h3 @$ M# K7 T& j! x. g3D集成在垂直堆叠技术方面实现了重大突破,直接通过芯片实现硅通孔(TSV)。这种技术实现了芯片间的直接连接和更高的集成密度,可应用于相同和不同芯片的组合。# C' l; E S p4 `7 a
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( \/ {. @% E# {6 H2 E图6展示了相同芯片和不同芯片的3D集成,展示了TSV技术在垂直连接中的应用。( A3 b" T. n% w! ~# e' T
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4D集成技术
# V6 r( I8 { P7 y5 A! }0 c. z, P4D集成引入了多个基板非平行排列的新方法。这可以通过刚性-柔性组合或专用陶瓷结构实现,为空间排列和功能提供了新的可能。: o8 i: `* b6 x* D$ e5 e8 Y
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图7展示了基于刚性-柔性基板的4D集成展开图和完成图。& j" f( v) r; [: I$ e# g
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图8展示了气密4D集成配置。
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腔体集成技术
: f# V: j( f: [$ V9 q腔体集成利用特殊设计的基板开口来增强封装功能。这些腔体可以提供多种用途,包括提高键合线的稳定性、增强陶瓷封装的气密性,以及实现双面组件安装。4 I; F, U# b9 W4 @2 y: c
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^+ z. @% L6 h# h7 j2 Y& a% q图9展示了SiP设计中的腔体结构、多级腔体配置和嵌入式腔体实现。
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图10展示了腔体集成的实际应用,展示了改进的键合线稳定性、增强的气密性和双面组件安装能力。
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8 i5 c+ r; o$ ^- ~平面集成技术
' S/ D2 |6 M" L, B9 h6 Z平面集成代表了将无源组件嵌入基板本身的先进方法。这包括通过特殊材料和工艺技术制作的电阻、电容和电感,提供了更好的空间利用率和电气性能。
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+ r$ a' s- U1 ^% O5 G图11展示了嵌入基板内的平面电阻、电容和电感的实现方式及其基本结构。
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]6 m. f) E4 T! E6 b4 y图12展示了平面电阻和电容的各种结构,展示了嵌入式无源组件的不同设计选项。
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集成技术总览和未来展望3 N* C) a& }+ h1 u
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图13提供了七种不同集成技术在定义坐标系中的关系概览。
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) r- o5 A+ w u9 [# d% j; |/ [图14展示了SiP集成技术的总结,展示了现代电子系统中如何组合不同的方法。9 Q7 D) @: B- B) ^: L' Y# K$ E
" y. M1 r# }1 A; y2 I集成技术的选择取决于多个因素,包括所需功能、成本限制和性能要求。随着电子系统的不断发展,这些集成技术将在实现新一代器件和应用中发挥更加重要的作用。不同集成方法的组合使设计人员能够针对特定要求优化系统,同时保持未来修改和改进的灵活性。
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$ q3 `9 z2 @2 N8 c3 @参考文献
8 R. x0 A3 x( f5 d[1] S. Li, "From 2D to 4D Integration," in MicroSystem Based on SiP Technology, S. Li, Ed. Beijing: Publishing House of Electronics Industry, 2022, ch. 4, pp. 89-115.
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+ ?0 I1 F: k0 T9 S# a4 [' o' S' N/ }4 F深圳逍遥科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家专注于半导体芯片设计自动化(EDA)的高科技软件公司。我们自主开发特色工艺芯片设计和仿真软件,提供成熟的设计解决方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分别针对光电芯片、微机电系统、超透镜的设计与仿真。我们提供特色工艺的半导体芯片集成电路版图、IP和PDK工程服务,广泛服务于光通讯、光计算、光量子通信和微纳光子器件领域的头部客户。逍遥科技与国内外晶圆代工厂及硅光/MEMS中试线合作,推动特色工艺半导体产业链发展,致力于为客户提供前沿技术与服务。
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