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氮化镓技术在电力电子应用中的理解

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发表于 2024-12-2 08:54:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
氮化镓技术简介  I; U  b; ?" d; |' X$ t# \
氮化镓(GaN)技术在电力电子领域带来革命性进步,相比传统硅基器件具有显著优势。本文将探讨GaN技术的基本特性、结构、应用及性能特点[1]。
4 A" A0 V* }7 q7 B& c+ P- [. k1 d* K4 J+ a0 z+ H9 C) ~. E
材料特性与构型4 D* u: D4 d2 T& L7 i4 {
GaN同时具有比硅和碳化硅(SiC)更高的载流子迁移率和临界电场。采用相对经济的GaN-on-Si晶圆使GaN在中高端应用中更具竞争力,特别是在成本敏感的场景下。
( V/ _8 m+ [( J9 b* w6 G5 o

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$ L% n! B0 \+ n8 }图1展示了不同材料和技术的特定Ron与击穿电压限值的关系,显示了GaN相比硅和SiC的卓越性能特征。
' ~  F7 k( h' D( A3 o; j3 ^5 `, t9 g% i1 ?; T4 f) \
GaN器件的横向构型具有以下优势:
% _7 [8 }. g8 ~" l# a
  • 可实现传感、保护和驱动线路的单片集成
  • 所有端子易于访问
  • 支持半桥器件集成
  • 可与硅器件简单混合集成
  • 封装更简单且成本更低- u' _# |; S# T8 R: ~2 n
    5 b4 v% V/ @: N$ J. [
    器件结构与运行原理' Z1 H# U+ d. ^& A7 Q  x

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    3 q( H/ J) r  X1 q9 X  J图2对比展示了掺杂硅晶体管与GaN HEMT的截面结构,显示了两种技术的基本结构差异。) C* h$ l0 \& A3 Y
    8 Q: V7 ?$ v. d
    对于任何GaN HEMT应用,驱动线路的合理设计和优化对构建高效可靠的系统具有根本作用。驱动线路需要为开关栅极提供适当的电压和电流来控制开关过程。& V  _3 u/ T1 {8 f

    ! C  ~$ ]& ^6 E9 ?2 ^6 ]' T5 C% p6 S  D驱动线路与功率集成5 k& A3 \, y& f# g4 d

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    图3展示了肖特基栅GaN HEMT(上)和GIT GaN HEMT(下)的驱动线路,显示了不同类型所需的配置。
    , `6 y+ l" D6 c3 X' g
    - ]5 O- p/ ?3 q  ~3 }GaN功率集成电路的出现代表技术的重大进步。集成实现了关断时几乎零损耗,因为关断栅极驱动回路基本没有阻抗。
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    $ A. `6 t  _6 E2 P4 c; X! Y
    图4显示了新型高频有源钳位拓扑和GaN功率集成电路如何实现无源元件缩小和整体功率密度提高3倍。3 ?1 o& W4 A, y" T# |- D' t
    " N3 b9 D1 j3 F
    动态特性表征的挑战
    * t  N# G' d9 A- C. V) ]5 NGaN功率器件的动态特性测量面临独特挑战,因为电压转换(dv/dt)和电流转换(di/dt)极快。这些快速转换与测试线路中的寄生元件相互作用,可能产生过高的电压或电流。# z! R. r& V, b( d% |

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    & \5 ^3 y2 p) R. b5 I+ \  E+ ^
    图5展示了GaN FET开关测试中的振荡和振铃结果,说明了动态表征中的挑战。3 Y* H. i) c: z3 j9 j

    3 p$ p6 f( b! Y2 d. O, l垂直GaN技术) O$ Q; C& k' ~6 n) `+ Y
    垂直GaN技术的发展代表另一个重要方向。垂直GaN能够实现700-900V以上阻断电压的实用扩展,因为阻断电压随外延特性而不是芯片面积变化。
    7 q/ r6 M3 v- @: p1 A8 x" G

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    # u' q* T- e6 e
    图6展示了基于GaN-on-GaN低缺陷密度的垂直导电GaN晶体管,显示了垂直器件的基本结构。
    : Q3 W+ g( D0 _4 B
    ' h2 i; p. s: L0 K可靠性与测试3 g$ n, P, n- c1 J* Q
    可靠性是GaN技术最关键的方面之一。制造商采用全面的测试程序来确保器件在各种工作条件下的可靠性。, @3 q% E% M8 b3 t' e& s

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    7 u+ r+ p) A# s1 s. D图7展示了英飞凌的四支柱GaN器件认证方法,显示了确保器件可靠性的综合方法。
    - Q1 P; `# ?  o. w. _
    ! q$ m% N1 f; f) d9 K1 ~' Z' _1 K应用与发展方向4 X3 a3 J0 D3 Q2 j2 ^
    随着GaN技术的不断成熟,已在数据中心、电动汽车和工业电机驱动等领域获得应用。这种技术在保持高效率的同时能够在更高频率下工作,使其在新一代电力电子应用中具有特殊价值。& N2 U0 ~% I) d# a! ^! N' ^

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    ( w0 f9 R1 ~- C$ b& X图8展示了GaN半桥功率集成电路示意图和电机逆变器实例及其良好的散热性能,展示了在电机控制系统中的实际应用。
    5 o5 b& ~" i" C6 |7 v$ N3 c# Z4 a7 o. s
    结论
    ; |# I2 C- H. i9 BGaN技术在电力电子领域展现出卓越的性能特征,远超传统硅基器件。尽管在动态表征和可靠性测试等方面仍存在挑战,但横向和垂直GaN技术的持续发展正在推动高性能电力电子应用的进步。- d% x+ s$ J2 N: x8 i2 C& e2 A
    . O& P& n9 r6 b( |
    参考文献
    ( b$ W* u1 q9 S5 l6 ^6 A[1] M. Di Paolo Emilio et al., "GaN Technology," in GaN Technology: Materials, Manufacturing, Devices and Design for Power Conversion. Cham, Switzerland: Springer Nature Switzerland AG, 2024, ch. 4, pp. 49-106. doi: 10.1007/978-3-031-63238-9_4, `3 J/ }8 K: S( {' K# u) S
    ) c( V9 g9 V; }% i# Q
    END
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    1 }7 a  P& t$ b  U* o3 g% ?关于我们:& P# O' }  N5 I- s- c' N, d
    深圳逍遥科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家专注于半导体芯片设计自动化(EDA)的高科技软件公司。我们自主开发特色工艺芯片设计和仿真软件,提供成熟的设计解决方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分别针对光电芯片、微机电系统、超透镜的设计与仿真。我们提供特色工艺的半导体芯片集成电路版图、IP和PDK工程服务,广泛服务于光通讯、光计算、光量子通信和微纳光子器件领域的头部客户。逍遥科技与国内外晶圆代工厂及硅光/MEMS中试线合作,推动特色工艺半导体产业链发展,致力于为客户提供前沿技术与服务。
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