光电子集成芯片的设计规则检查

逍遥设计自动化

设计规则检查（DRC）简介
设计规则检查是集成线路设计中的关键验证步骤，通过验证物理版图是否符合预定义的设计规则来确保制造可行性。在光电子集成芯片中，由于光波导和器件的特殊要求，设计规则检查变得更加重要。PIC Studio当中的pVerify DRC工具提供全面的设计规则检查功能，使设计人员能够高效地验证版图。

* ~; ?" E6 h8 g% j# h* t, u; Q基本设计规则检查
PIC Studio实现了构成版图验证基础的设计规则检查，确保各个几何元素满足制造约束。该平台提供多种基本检查机制。

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图1：基本设计规则检查的图示，包括最小宽度和精确宽度要求，展示了尺寸超出指定参数时如何识别违规情况。

最小宽度检查确保没有特征比工艺定义的最小尺寸更窄。这对波导尤为重要，因为宽度变化会显著影响光学性能。精确宽度检查验证特定特征是否保持精确尺寸，这对定向耦合器等器件极为重要，因为耦合比依赖于精确的几何参数。
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图2：设计规则检查验证中的间距和面积检查演示，展示了如何验证特征之间的最小间距和最小面积要求。
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# X. b# v- p2 m. {9 ]. R7 R间距检查验证相邻特征之间是否存在足够的分隔，以防止制造问题和不需要的耦合效应。面积检查确保特征足够大，可以可靠制造，这对接触焊盘和其他金属结构特别重要。

层生成方法
PIC Studio提供了支持复杂设计规则检查操作的复杂层生成功能。

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3 u2 _( X" o  Z; X8 R' j3 O% Z图3：用于设计规则检查验证的各种布尔运算（或、与、异或、A-B、B-A）的图示。
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/ V8 e' g( I; @+ L. m& g4 ]" @/ B- D图4：用于修改几何特征的正向和负向尺寸操作演示。

! d1 d6 I1 ?: {( \- z, t扩展几何检查
  ]( B( H' l# }6 c. s! _除基本检查外，PIC Studio还实现了复杂光子结构所需的高级几何验证功能。

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' B0 c- V8 y8 w% u图5：扩展几何检查的示例，包括不同层之间的包围和分隔要求。

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, U  `7 i3 l" I7 P; a& g# b( R图6：各种几何关系检查的演示，包括不同层之间的内部、外部、不相交和重叠条件。

锐角和密度检查
PIC Studio为制造关键特征提供专门的检查，锐角可由用户自行决定是否执行自动修复，或是用户自行手动修复。

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图7：锐角检测和修正方法的图示，展示了如何识别和修补关键角度。

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图8：密度检查演示，展示了如何根据指定限制验证局部图形密度。
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6 q1 Q/ Q6 Y' `与设计流程的集成
PIC Studio的设计规则检查功能完全集成到设计流程中，支持各种输入点和验证方法。
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+ ^2 G# R1 ?- @* U图9：全面的图表，展示了设计规则检查验证如何与不同设计流程集成，包括原理图驱动、版图驱动和GDS驱动方法。

8 B- ^/ @+ ^5 s7 U- c) T1 \/ o6 S$ D; F* opVerify设计规则检查解决方案的优势

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图10：pVerify作为设计规则检查解决方案的主要优势概述，突出其效率和成本效益。

+ [# Y% N* R4 z8 s: W" rPIC Studio的pVerify提供多个主要优势：
全面的设计规则检查套件确保设计准确性
3 j8 {7 h+ o. ~包括布尔运算和密度检查在内的高级功能
+ d4 i  g0 S, C. Y% Z早期阶段的设计规则检查验证实现快速问题解决
; l. S/ N; }$ S( p! n与基于Windows的设计流程无缝集成
所有设计人员都能使用，促进持续的设计验证
0 O% C$ |) t4 l, k( `) K8 p与业界标准签核工具（如Calibre）兼容
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, I% y0 E/ {& h% L9 V& x& X+ ^  N& kPIC Studio平台支持主要光电子芯片代工厂和工艺，确保在行业内广泛适用。高效的验证引擎在保持设计规则检查高准确性的同时实现快速周转。通过这种全面的设计规则检查实现，使设计人员能够创建可制造的光电子集成芯片，同时保持高生产力和设计质量。

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5 M1 F  j- f# H0 l3 F2 ^  b0 i. a关于我们：
, ~5 k  W) w2 K7 a) c深圳逍遥科技有限公司（Latitude Design Automation Inc.）是一家专注于半导体芯片设计自动化（EDA）的高科技软件公司。我们自主开发特色工艺芯片设计和仿真软件，提供成熟的设计解决方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio，分别针对光电芯片、微机电系统、超透镜的设计与仿真。我们提供特色工艺的半导体芯片集成电路版图、IP和PDK工程服务，广泛服务于光通讯、光计算、光量子通信和微纳光子器件领域的头部客户。逍遥科技与国内外晶圆代工厂及硅光/MEMS中试线合作，推动特色工艺半导体产业链发展，致力于为客户提供前沿技术与服务。
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