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引言
# ^, x( q# o. T铌酸锂薄膜(TFLN)波导因其卓越的电光特性和非线性特性,正成为集成光电子技术中的核心材料。这种波导结构通过提供高折射率对比和强光场限制,为现代光电子技术器件的小型化与高效设计提供了基础。本文从基本原理、模式分析到导模特性展开,介绍铌酸锂薄膜波导的相关研究[1]。
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, I6 o. h3 [" U6 r铌酸锂薄膜波导简介
: p1 s1 T5 C9 O! M" d, L铌酸锂薄膜或称铌酸锂绝缘体(LNOI)波导由一层薄铌酸锂核心层和硅氧化物缓冲层组成。这种结构因折射率对比大,能实现高效光场限制,被广泛应用于以下领域:
! g) w2 x3 w+ w# T$ Z k' _+ d4 Q光量子技术系统+ x, s x+ g# x
光计算
: a! y2 T# k: F) o6 K单光子态处理
8 b3 X1 v3 `+ Q7 z% s& P% ? Z铌酸锂的双折射和各向异性特性为模式分析带来了复杂性,通常需要结合解析和数值方法加以解决。
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# ]# s7 A/ y, Z铌酸锂薄膜波导的结构配置. j* o9 O A8 M3 q
根据晶轴的切割方向,铌酸锂薄膜波导可以分为:
- e+ B6 G S1 ?) \$ \. RX切片波导:垂直于晶体X轴或Y轴切割。Z切片波导:垂直于晶体Z轴切割。/ W% _8 S% Q6 t# C
每种结构的光学特性各异。铌酸锂薄膜嵌入波导结构的示意图见图1,图中展示了晶轴方向与坐标系之间的关系。! n: t8 K" C A) ^* o0 c
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图1:铌酸锂薄膜波导的光传播方向示意图:X切片(a)和Z切片(b)结构,标注了不同坐标系。
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铌酸锂薄膜波导的模式分析
k$ S/ E* P; K模式分析的核心是通过求解麦克斯韦方程,确定波导的导模特性。关键步骤包括:定义波导的几何结构和材料特性。确定各向异性核心层的介电常数张量。通过特征值问题求解模式的传播常数。- x; _" b% P: I4 e7 N
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# j& y0 `' m/ I% S2 h! D' X典型波导结构及其相关参数见图2。+ \6 U" M2 k2 h- b
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图2:TFLN波导:核心层厚度为dd,位于底部衬底与上层覆盖层之间。光沿zz方向传播。+ n5 R+ W' x! a* D1 @
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材料特性与光学特征' G, O. N# D3 d) e
铌酸锂的光学特性由其普通折射率(non_o)和非常折射率(nen_e)决定,这些参数随波长变化。折射率与波长的关系如图3所示。9 P* y7 m7 \& ]; ^4 t
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- }; _) A& K9 }图3:铌酸锂材料(non_o、nen_e)的折射率与波长的关系曲线,包括块状和薄膜样品的数据。
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) N9 N( ?% _, ~# n x }7 v. oX切片与Z切片波导的导模特性4 q8 N) D; }2 ^" g: Y4 |! R1 r, G
X切片波导的导模- |& c: c# U; E2 B5 p% X* [ `
X切片波导支持TE和TM偏振耦合的混合模式。混合程度由传播角度和波导厚度决定。图4和图5分别展示了空气覆盖层和二氧化硅覆盖层的色散曲线。
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$ t* P* j) L9 a: @图4:X切片波导(空气覆盖层)的导模:有效折射率与核心厚度的关系,针对不同传播角度。, }1 u' Y- E8 ` b5 G1 j1 ^
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图5:X切片波导(二氧化硅覆盖层)的导模:有效折射率与核心厚度的关系,针对不同传播角度。
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Z切片波导的导模/ v# }, D: [2 _( T W
Z切片波导展现了独立的TE和TM模式,没有混合现象。有效折射率由波导厚度及non_o、nen_e决定。色散曲线见图13。
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2 j* a. m* ~5 v图6:Z切片波导的导模:有效折射率与核心厚度的关系,分别针对空气覆盖层(a)和二氧化硅覆盖层(b)。
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# T' x G& L8 ~ {% j模式偏振特性与混合分析
; b! B; e8 r# R5 J# M通过偏振比(Π\Pi)可以量化模式的TE与TM分量占比。图12的色彩图直观显示了X切片波导中强混合模式的分布情况。8 S5 L' i' Z. v5 w
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- R; W; [# I( g* M. W4 ]
图7:X切片波导中模式的混合程度:不同核心厚度和传播角度下的混合区域色彩图。) p/ p/ w( `4 t& O! w7 j, O$ R
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模式剖面与场分布
; v4 s0 S, q1 L- a+ p矢量场剖面提供了电场和磁场的分量信息。图6-9展示了X切片和Z切片波导的典型模式剖面。
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( I+ m7 F8 q4 |6 ]4 A% H图8:空气覆盖的X切片波导中导模的电场与磁场分布剖面。7 v; D' H2 U5 `; o/ V f0 w1 f$ p9 v
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( a/ s* p7 d6 n( K图9:二氧化硅覆盖的X切片波导中导模的电场与磁场分布,几乎没有混合现象。: ^, t6 v$ R. t9 E, K
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应用与分析
$ K6 @0 a# G7 @1 \& |铌酸锂薄膜波导在光电子技术线路设计中具有重要作用:
. P l0 P& N. Y* x模式特性的深入研究支持更高效的器件设计。! h4 F/ Z+ O5 f: J1 `* Z, C7 f, G( r
混合模式的特性为光电子系统设计提供了新的功能。5 ~5 B" l6 y8 s& d% n& |" I
模式分析工具可用于优化与验证设计方案。
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结论 y6 g. b( E1 B
铌酸锂薄膜波导因其独特的模式特性,在集成光电子技术中具有重要地位。通过对模式行为的深入分析,研究人员和工程师能够更高效地利用这种材料平台。本文详细解析了铌酸锂薄膜波导的理论基础、模式分析方法以及实践意义。 e4 o9 w% i. F7 a1 ~
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参考文献8 l5 c5 ~ ]' M" h( u% w
[1] M. Hammer, H. Farheen, and J. F?rstner, "Guided modes of thin-film lithium niobate slabs," Optics Continuum, vol. 3, no. 11, Nov. 2024. [Online]. Available: https://doi.org/10.1364/OPTCON.532822
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2 k$ T. k- m/ k7 e- y深圳逍遥科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家专注于半导体芯片设计自动化(EDA)的高科技软件公司。我们自主开发特色工艺芯片设计和仿真软件,提供成熟的设计解决方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分别针对光电芯片、微机电系统、超透镜的设计与仿真。我们提供特色工艺的半导体芯片集成电路版图、IP和PDK工程服务,广泛服务于光通讯、光计算、光量子通信和微纳光子器件领域的头部客户。逍遥科技与国内外晶圆代工厂及硅光/MEMS中试线合作,推动特色工艺半导体产业链发展,致力于为客户提供前沿技术与服务。
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