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干涉式光学陀螺仪的微型化

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发表于 2025-1-2 08:00:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
引言0 a% Q& i& C) F: {2 i; k5 ?
陀螺仪作为测量角速度的惯性传感器,在现代工业中扮演着关键角色。从航空航天到消费电子,从医疗设备到自动驾驶汽车,陀螺仪的应用范围持续扩大。现代陀螺仪技术主要基于两种物理效应:科里奥利效应和萨格纳克效应。科里奥利效应在外部旋转时产生机械共振模式间的能量耦合,而萨格纳克效应则在旋转系统中产生对向传播光束的相位差。/ j0 V8 T! t- e. r- q7 x9 w

' ~' \+ L9 q: ?8 `0 p# h市场对微型化高性能陀螺仪的需求日益增长。特别是在导航级应用中,业界追求将体积控制在100立方厘米以下的惯性测量单元,同时保持较低的重量和功耗指标。这种小型化趋势正推动着新一代导航系统的研发[1]。: i/ w7 z; ^3 F  F* }' a) A8 E

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( _( Z- u8 t1 ^图1:市场现有陀螺仪性能分布图,展示运行偏差稳定性与IMU/INS的尺寸、重量、功耗关系。标注星号处为微型化导航级陀螺仪的目标参数。
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工作原理
2 ~5 y0 i# z: R/ j3 ?萨格纳克效应构成了干涉式光学陀螺仪的核心原理。当光在旋转系统中沿闭合路径双向传播时,旋转会导致两个方向的光程差异:同向传播光程增加(+ΔS),反向传播光程减少(-ΔS)。这种光程差最终转化为可测量的相位差,其大小与系统的旋转角速度和光路包围面积直接相关。
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( E* \9 T8 T+ H; c0 l图2:旋转系统中光程变化示意图,清晰展示了同向和反向传播光束受旋转影响的路径变化。/ C5 [7 Y8 h; A
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一个完整的干涉式光学陀螺仪系统需要多个精密光学组件协同工作。系统采用宽带光源以降低相干噪声,通过光耦合器实现光路的互易性配置。偏振器确保光波相位的均匀性,分光器将光分为两束进行对向传播。相位调制器用于信号调制和解调,最终由光电探测器接收干涉信号并转换为电信号进行处理。5 y2 m- C+ D' u

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图3:光纤陀螺仪的系统架构,包括从光学元件到电子处理单元的完整信号链路。
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" ~9 h* ^' U* c7 |. u+ }1 t噪声来源与抑制机制
6 [% `& D2 p* P/ m$ A4 ]干涉式光学陀螺仪的性能受多种噪声源影响。光电探测器产生的散粒噪声是基础性的量子噪声,这种噪声与接收到的光功率直接相关。系统中的偏振耦合会引入额外的相位噪声,特别是在光纤弯曲或受到机械应力时更为明显。瑞利背向散射源于光纤材料的微观不均匀性,会造成信号串扰。
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温度梯度引起的Shupe效应对系统稳定性构成重大挑战。温度变化导致光纤折射率和物理长度改变,进而影响测量精度。克尔效应则源于光纤的非线性特性,在高功率下表现显著。外部磁场通过法拉第效应影响光的传播特性,而光源的波长漂移也会引入测量误差。/ _+ D' V% o" w; O0 m% t" v

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图4:干涉信号特性曲线,展示光功率与相位差的定量关系,对理解系统性能很重要。
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! x5 F2 h" `  t/ u; p图5:开环与闭环系统配置的信号对比,说明了不同工作模式下的信号处理方式。
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微型化技术路线" p. }4 X1 f" L3 ^0 J7 {) R
光纤线圈优化- W2 o9 S  A% ~/ d* A5 N; n4 I
光纤线圈的设计需要在多个技术参数间取得平衡。保偏光纤的选择对系统性能有决定性影响,现代保偏光纤采用多种应力诱导结构实现高双折射特性。正确的线圈绕制方式可以有效抑制Shupe效应,常用的四极绕制和八极绕制技术能显著提升温度稳定性。6 R7 s: S& b. S3 S( X0 K& b

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  E; o" h0 R7 z3 ~- v* t) T图6:各类高双折射保偏光纤的横截面结构,展示不同应力诱导机制。
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图7:新型光子晶体光纤的结构特征及其在陀螺仪中的实际应用。
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光电子集成技术
+ J+ \0 B: z0 {0 H光电子集成技术为陀螺仪微型化提供了新的解决方案。多芯光纤技术通过在单根光纤中集成多个光波导,大幅减小了系统体积。硅基光电子平台能够在芯片尺度上实现复杂的光学功能,包括分光、调制和探测等。; ~" k) n( g8 q: O4 r& P

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; }8 j9 i! ~1 K/ \; Y* w图8:多芯光纤系统架构,包括光信号的扇入扇出结构设计。: ?: e' |5 ~( T$ C0 z. K8 L

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) @3 v, {5 C7 ]2 b" q- J/ L图9:InP基光电子集成平台的结构示意,展示了各功能单元的集成方案。  f4 K6 A6 E5 x$ i/ [/ t% f

9 h8 z' }' G3 i% r" |! k4 P技术发展趋势! `/ q# Z' E8 ^! S& O3 Q4 v
芯片级布里渊激光陀螺仪代表了微型化的最新进展。这种设计通过将激光器、光学谐振腔和检测系统集成在单个芯片上,实现了超小型化。性能评估显示,这类器件在保持小型化的同时,仍能达到较高的测量精度。
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图10:芯片级布里渊激光陀螺仪的结构设计和性能数据,包括详细的艾伦方差分析。
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1 K; d, l$ v5 S6 c9 O# ?光电子和电子器件的深度集成是未来发展的重点方向。这种集成不仅能减小系统体积,还能提高信号处理效率,降低功耗。随着制造工艺的进步,集成化陀螺仪将在自主导航、航天器姿态控制等领域发挥更大作用。
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参考文献
& F) h3 a: J0 S5 i7 M2 M- d; V% z[1] Dell’Olio, Francesco & Natale, Teresa & Wang, Yen-Chieh & Hung, Yung-Jr. (2023). Miniaturization of Interferometric Optical Gyroscopes: A Review. IEEE Sensors Journal. PP. 1-1. 10.1109/JSEN.2023.3327217.; r/ Y! _- h; x  h

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; ~- o7 q& [% g. S8 {转载请注明出处,请勿修改内容和删除作者信息!
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/ R4 G  G( h- \7 i; N深圳逍遥科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家专注于半导体芯片设计自动化(EDA)的高科技软件公司。我们自主开发特色工艺芯片设计和仿真软件,提供成熟的设计解决方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分别针对光电芯片、微机电系统、超透镜的设计与仿真。我们提供特色工艺的半导体芯片集成电路版图、IP和PDK工程服务,广泛服务于光通讯、光计算、光量子通信和微纳光子器件领域的头部客户。逍遥科技与国内外晶圆代工厂及硅光/MEMS中试线合作,推动特色工艺半导体产业链发展,致力于为客户提供前沿技术与服务。& x1 u9 _# W) ?, k1 a
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