百万品质因子自由空间光学谐振腔

逍遥设计自动化

引言
% \/ K% r% v+ Z; b) d具有高品质因子（Q值）的光学谐振腔在现代光子技术和光量子技术领域发挥着关键作用，应用范围涵盖光频梳到量子光源等多个领域。在各种光谱范围内实现高品质因子已经取得进展，但在可见光波段制造这样的谐振腔一直面临重大挑战。最近的研究取得突破性进展：实现了在近可见光波段工作的百万量级品质因子谐振腔，为光学技术发展带来新机遇。[1]
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3 `& P5 c4 X7 Y( w创新设计与实现
这项成就的核心在于创新的"无蚀刻"超表面设计。传统制造方法通常会通过蚀刻过程引入缺陷，这在可见光波段特别成问题，因为结构特征尺寸极小。新方法采用扰动多层波导结构，折射率适中，不超过2.0。

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. ]0 E$ w: k! P: k% a  z' X: }图1

% M- f* k. k& h3 h- ]图1展示了新型超表面，它无需复杂的蚀刻工艺，就能在可见光波段实现超高Q值的导模谐振。简单来说，研究人员巧妙地利用了光波导效应和周期性结构，使光波像被“捕捉”住一样，在特定的条件下发生强烈共振。通过调整结构参数，可以精确控制共振的强度，就像调节乐器获得不同的音调一样。这项技术为开发新型光学器件，如高灵敏度传感器和高效激光器，开辟了新的途径。

2 O! \/ ?) Q# g' e  F+ l该结构由几个精心设计的层组成。顶部是58纳米厚的图案化PMMA层，其下是100纳米厚的氮化硅层。这些有源层下方是1470纳米厚的二氧化硅层，底部是硅基底。这种精确的排列实现了导模谐振（GMR），PMMA层中的周期性扰动产生结构诱导的布洛赫动量，使导波模式能够与自由空间耦合。这种方法在保持高性能的同时最大限度地减少了制造缺陷。
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( o8 ~! x9 b4 l0 f+ _9 @革命性测量技术
& t" g  Y! @. k/ c在可见光谱段表征百万量级Q值谐振需要开发新的测量方法。研究团队创建了激光扫描动量空间分辨光谱技术，提供了对谐振器行为的深入理解。

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图2展示了激光扫描动量空间分辨光谱的光学装置，显示了可调谐激光器与动量空间成像系统的集成。
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* R0 `! \: i* d, [该系统通过创新设计实现了卓越的精度，波长分辨率约为0.42皮米，角度分辨率约为0.028度。这种精度水平实现了能量-动量空间中模式色散的完整可视化，对于理解和优化谐振器性能非常重要。这种测量方法对于准确表征超高Q值谐振并将其与背景噪声区分开来不可或缺。
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4 P8 \( _# {! j& H7 W1 B, T0 @突破性能表现
实验结果展示了谐振器性能的卓越成就，为该领域设立了新标准。
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0 }8 h- Z* x7 b, i, [) R1 l图3a-c展示了近可见光波段百万Q值GMR的实验证明，显示了不同器件配置的反射光谱和拟合Q值。

研究团队在最佳设计中实现了1.10±0.09百万的Q值，在近可见光波长（779纳米）稳定运行。这种性能在多个器件中保持一致，较之前的自由空间谐振器提高了数个数量级。这种一致性证明了设计方法的稳健性和可靠性。
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7 w/ j$ i, w0 b- t  U+ n1 i, K实际应用与集成
+ Z  x, u6 i# ^: ?# X3 K6 s研究团队通过将单层WSe2集成到谐振器结构中，展示了该技术在实际应用中的潜力。

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4 b5 N6 t2 \, J+ o图4a-b说明了WSe2与超谐振器的集成及其增强的发射特性，显示了光谱和角度发射特性的显著改善。

. f" h! A4 [0 o: T: W- G3 ?. x* m) s集成器件表现出显著特性，包括高度定向发射和窄线宽激子发射，所有这些特性均在室温下实现，且无功率密度阈值要求。结果显示发射线宽减小超过96%，发射方向性提高超过99%，展示了性能的显著提升。
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& e' Q# V8 d4 ]5 i! y8 T- l这些成就对多个应用领域产生深远影响，从光学传感和光谱滤波到少光子非线性光学和量子光源。该技术在显示技术和光通信领域表现特别出色，这些领域需要精确控制光发射。

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总结与未来展望
百万Q值自由空间超光学谐振腔的研发代表光子技术研究的重要进展。这项突破不仅创造了新的性能记录，还为在可见光波长应用中实现高Q值谐振器建立了实用方法。创新的无蚀刻制造方法，结合适中折射率材料的使用，为制造这些复杂光学器件提供了可扩展和可靠的方法。
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WSe2的成功集成展示了该平台的多功能性和直接实用性。发射特性的显著改善 - 线宽减小超过96%，方向性提高99% - 展示了该技术在革新量子光源和光通信系统方面的潜力。这些成就在室温条件下无需功率密度阈值即可实现，使技术更易于实际应用。

' r) Y& Q" R1 s' ?& J0 [" h展望未来，该研究为进一步发展提供了广阔空间。在自由空间实现如此高的Q值表明更复杂光学器件的可能性。该技术可能促进新一代光学传感器、更高效的量子光源和先进的光谱滤波系统的发展。此外，该平台与现有半导体制造工艺的兼容性使其特别适合大规模集成和商业应用。
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, V+ i2 Q( _0 f[1] J. Fang et al., "Million-Q free space meta-optical resonator at near-visible wavelengths," Nature Communications, vol. 15, no. 10341, pp. 1-11, 2024.
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3 g" b/ L# N8 g深圳逍遥科技有限公司（Latitude Design Automation Inc.）是一家专注于半导体芯片设计自动化（EDA）的高科技软件公司。我们自主开发特色工艺芯片设计和仿真软件，提供成熟的设计解决方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio，分别针对光电芯片、微机电系统、超透镜的设计与仿真。我们提供特色工艺的半导体芯片集成电路版图、IP和PDK工程服务，广泛服务于光通讯、光计算、光量子通信和微纳光子器件领域的头部客户。逍遥科技与国内外晶圆代工厂及硅光/MEMS中试线合作，推动特色工艺半导体产业链发展，致力于为客户提供前沿技术与服务。

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