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基于连续态束缚态的超低损耗波导在集成光学陀螺仪中的应用

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发表于 2025-3-23 08:03:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
引言
8 s/ m2 B+ p9 _1 V' J( \" K微型化光学陀螺仪的研发已经成为集成光子技术研究的重要领域。传统的环形激光陀螺仪和光纤陀螺仪虽然具有较高的精度,但体积大、功耗高等特点限制了在便携式器件中的应用。本文探讨了利用连续态束缚态(BIC)创建超低损耗波导用于集成光学陀螺仪的创新方法[1]。+ d- ]6 N7 M/ r2 Q+ I

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. W9 ~$ }; ~8 M. r
) @# e5 L+ _( ^  Z8 |& t! [1
# z9 w0 R+ V( r6 m9 @( J- x1 ~基本原理与设计概念
# d2 N8 P* L- A2 u) w( a4 K核心概念围绕着BIC展开,BIC是一种独特的物理现象,光学模式可以与自由空间中的辐射模式共存而不发生耦合。让我们来观察这个系统的基本结构。
: r5 \, q' q( V0 T9 }

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- n" G5 f* }- x3 S+ ?1 o% a
图1:(a) 支持BIC模式的阿基米德螺旋波导结构的三维示意图,(b) 设计的螺旋波导结构的横截面,以及(c) 基于BIC结构的干涉型集成光学陀螺仪的示意图。: p, J/ a4 M$ D" n, O
8 K  f& a; }2 g! y; Z
波导由三个主要层组成:低折射率聚合物波导高折射率硅(Si)层二氧化硅(SiO2)衬底。该结构无需刻蚀高折射率材料,解决了集成光学中长期存在的难题。
7 i4 {) K, T* \: B# M( w& O: `4 H- x+ L6 [& ]8 t2 l" Z2 O: _0 o
2* G: B0 a% T0 B8 W+ i3 U
BIC机制解析
5 G8 y7 T/ |* K. t) }& gBIC机制通过不同光学模式之间的复杂相互作用运行。
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7 U: Z- g. [) J. _1 |  |1 [
图2:(a) 支持BIC模式的混合波导结构的横截面,显示了TM束缚模式到TE连续谱的辐射通道,以及(b) 混合波导结构的光子势分布。; r) K! j7 q! _1 o% o; }

/ \7 [, X$ A! v8 F. P通过TM束缚模式和TE连续模式之间的耦合可以理解该机制。当左向和右向的损耗发生破坏性干涉并相互抵消时,就能实现无损耗的TM束缚模式——理想的BIC状态。
6 n1 s# x) p1 [0 o5 R  P6 o
7 d5 o6 Z3 q6 p0 R( ~0 ]36 j1 L, x4 x! [! E& c' i
电场分布与模式分析
! U0 K9 B7 ]1 c/ C$ a电场分布揭示了BIC波导工作的关键特性。
! a* `5 ]4 E. ?  R3 J/ z% E

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& R  L9 c; N  u
图3:(a) TM束缚模式和(b) TE连续模式的电场|E|分布,显示了不同的限制特性。
: d( r9 m. A1 k% Z
$ Q+ B, W! _" I* d+ {TM束缚模式在聚合物波导下方的高折射率衬底中表现出强限制性,而TE连续模式在衬底中表现出场的扩展。
# W+ O$ _) A, k: G$ \4 N: G5 A2 ~" P& d
4
, k( m# Z7 i2 l性能特征
: F/ ~2 i9 ?5 P% y8 A% w$ zBIC波导的性能较传统设计有显著提升。
+ i) v, `: F+ a, l/ G4 f6 y5 Z

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* j, r/ a/ c4 T) M
图4:(a) 直波导结构示意图,(b) 不同波长下传播损耗随波导宽度的变化,(c) 1.55μm波长下的传播损耗曲线,以及(d) 品质因数随波导宽度的变化函数。0 e4 R! h* S* ~0 H( }  m! W& Q

3 u9 M8 j$ E! L模拟结果表明传播损耗达到4.232×10-6 dB/cm,品质因数达到1011,远优于传统波导平台。3 p4 w7 e# a, z8 v

: s) Y, {8 a$ _, {: R5 P5
, J7 X  u+ b- V6 z, ~陀螺仪应用的螺旋波导设计6 g* ^+ G+ r0 e$ D: K2 K  A; E
实际应用采用阿基米德螺旋设计以实现最佳性能。, P1 c5 d0 U) [1 q$ b; X" H

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/ S* |, \+ P6 u6 q) |# |1 S* {图5:(a) 设计用作无源敏感陀螺仪的阿基米德螺旋结构以及(b) 相邻波导结构之间的参数设置说明。9 ^$ c! p0 T: N& k/ W

7 l! }0 N  Q0 `2 ]- ^5 V4 x1 e' K螺旋结构在给定面积内实现最大包围面积和长度,优化了陀螺仪的灵敏度。设计充分考虑了相邻波导间的间距,在保持紧凑尺寸的同时最小化串扰。
' J6 S% u1 e/ t7 q* U5 `/ m" f9 H. Y' e6 `+ m  _4 B
6  h: z8 j9 {: j3 \+ i4 o& d
性能分析与比较优势' _/ o( @  l( u3 _  w
基于BIC的陀螺仪设计展现出优越的性能指标。灵敏度可达0.6699°/s,传播损耗比传统集成波导低数个数量级。这些进展促进了高灵敏度、微型化光学陀螺仪的发展。
+ b. x. t' d2 x# s& O2 W& f  F! d' A1 I" t
7$ K4 b' `5 G1 P" G0 k
结论" b" U8 @/ v, _5 l% I- w$ J5 T
将BIC原理应用于波导设计是光学陀螺仪技术发展的重要进展。通过实现超低损耗和高品质因数,且无需复杂的刻蚀工艺,这种方法为实用、高性能集成光学陀螺仪提供了新的技术方案。7 Y8 W, X; {  Q+ z  o: L/ I
0 D& p7 [& A7 {" C6 _
参考文献
) t# |; K' V3 O% m" ^[1] Z. Yuan, J. Chen, D. Chen, S. Zhu, J. Yang and Z. Zhang, "An Ultra-Low-Loss Waveguide Based on BIC Used for an On-Chip Integrated Optical Gyroscope," Photonics, vol. 10, no. 4, p. 453, Apr. 2023, doi: 10.3390/photonics10040453
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! |* K1 }- b; H* H深圳逍遥科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家专注于半导体芯片设计自动化(EDA)的高科技软件公司。我们自主开发特色工艺芯片设计和仿真软件,提供成熟的设计解决方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分别针对光电芯片、微机电系统、超透镜的设计与仿真。我们提供特色工艺的半导体芯片集成电路版图、IP和PDK工程服务,广泛服务于光通讯、光计算、光量子通信和微纳光子器件领域的头部客户。逍遥科技与国内外晶圆代工厂及硅光/MEMS中试线合作,推动特色工艺半导体产业链发展,致力于为客户提供前沿技术与服务。, p3 M5 W/ ~# G) a" h, ~2 f
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