|

引言
8 s/ m2 B+ p9 _1 V' J( \" K微型化光学陀螺仪的研发已经成为集成光子技术研究的重要领域。传统的环形激光陀螺仪和光纤陀螺仪虽然具有较高的精度,但体积大、功耗高等特点限制了在便携式器件中的应用。本文探讨了利用连续态束缚态(BIC)创建超低损耗波导用于集成光学陀螺仪的创新方法[1]。+ d- ]6 N7 M/ r2 Q+ I
snntgiafyqp6403305410.png
. W9 ~$ }; ~8 M. r
) @# e5 L+ _( ^ Z8 |& t! [1
# z9 w0 R+ V( r6 m9 @( J- x1 ~基本原理与设计概念
# d2 N8 P* L- A2 u) w( a4 K核心概念围绕着BIC展开,BIC是一种独特的物理现象,光学模式可以与自由空间中的辐射模式共存而不发生耦合。让我们来观察这个系统的基本结构。
: r5 \, q' q( V0 T9 }
neofafoqgrm6403305510.png
- n" G5 f* }- x3 S+ ?1 o% a
图1:(a) 支持BIC模式的阿基米德螺旋波导结构的三维示意图,(b) 设计的螺旋波导结构的横截面,以及(c) 基于BIC结构的干涉型集成光学陀螺仪的示意图。: p, J/ a4 M$ D" n, O
8 K f& a; }2 g! y; Z
波导由三个主要层组成:低折射率聚合物波导、高折射率硅(Si)层和二氧化硅(SiO2)衬底。该结构无需刻蚀高折射率材料,解决了集成光学中长期存在的难题。
7 i4 {) K, T* \: B# M( w& O: `4 H- x+ L6 [& ]8 t2 l" Z2 O: _0 o
2* G: B0 a% T0 B8 W+ i3 U
BIC机制解析
5 G8 y7 T/ |* K. t) }& gBIC机制通过不同光学模式之间的复杂相互作用运行。
( d5 e& E* Q9 O/ Y* l( F& h2 m$ a% P
t54dvd53p4c6403305610.png
7 U: Z- g. [) J. _1 | |1 [
图2:(a) 支持BIC模式的混合波导结构的横截面,显示了TM束缚模式到TE连续谱的辐射通道,以及(b) 混合波导结构的光子势分布。; r) K! j7 q! _1 o% o; }
/ \7 [, X$ A! v8 F. P通过TM束缚模式和TE连续模式之间的耦合可以理解该机制。当左向和右向的损耗发生破坏性干涉并相互抵消时,就能实现无损耗的TM束缚模式——理想的BIC状态。
6 n1 s# x) p1 [0 o5 R P6 o
7 d5 o6 Z3 q6 p0 R( ~0 ]36 j1 L, x4 x! [! E& c' i
电场分布与模式分析
! U0 K9 B7 ]1 c/ C$ a电场分布揭示了BIC波导工作的关键特性。
! a* `5 ]4 E. ? R3 J/ z% E
svwhzfu1d5v6403305710.png
& R L9 c; N u
图3:(a) TM束缚模式和(b) TE连续模式的电场|E|分布,显示了不同的限制特性。
: d( r9 m. A1 k% Z
$ Q+ B, W! _" I* d+ {TM束缚模式在聚合物波导下方的高折射率衬底中表现出强限制性,而TE连续模式在衬底中表现出场的扩展。
# W+ O$ _) A, k: G$ \4 N: G5 A2 ~" P& d
4
, k( m# Z7 i2 l性能特征
: F/ ~2 i9 ?5 P% y8 A% w$ zBIC波导的性能较传统设计有显著提升。
+ i) v, `: F+ a, l/ G4 f6 y5 Z
p14gyweydot6403305810.png
* j, r/ a/ c4 T) M
图4:(a) 直波导结构示意图,(b) 不同波长下传播损耗随波导宽度的变化,(c) 1.55μm波长下的传播损耗曲线,以及(d) 品质因数随波导宽度的变化函数。0 e4 R! h* S* ~0 H( } m! W& Q
3 u9 M8 j$ E! L模拟结果表明传播损耗达到4.232×10-6 dB/cm,品质因数达到1011,远优于传统波导平台。3 p4 w7 e# a, z8 v
: s) Y, {8 a$ _, {: R5 P5
, J7 X u+ b- V6 z, ~陀螺仪应用的螺旋波导设计6 g* ^+ G+ r0 e$ D: K2 K A; E
实际应用采用阿基米德螺旋设计以实现最佳性能。, P1 c5 d0 U) [1 q$ b; X" H
1zlcfbj31qr6403305911.png
/ S* |, \+ P6 u6 q) |# |1 S* {图5:(a) 设计用作无源敏感陀螺仪的阿基米德螺旋结构以及(b) 相邻波导结构之间的参数设置说明。9 ^$ c! p0 T: N& k/ W
7 l! }0 N Q0 `2 ]- ^5 V4 x1 e' K螺旋结构在给定面积内实现最大包围面积和长度,优化了陀螺仪的灵敏度。设计充分考虑了相邻波导间的间距,在保持紧凑尺寸的同时最小化串扰。
' J6 S% u1 e/ t7 q* U5 `/ m" f9 H. Y' e6 `+ m _4 B
6 h: z8 j9 {: j3 \+ i4 o& d
性能分析与比较优势' _/ o( @ l( u3 _ w
基于BIC的陀螺仪设计展现出优越的性能指标。灵敏度可达0.6699°/s,传播损耗比传统集成波导低数个数量级。这些进展促进了高灵敏度、微型化光学陀螺仪的发展。
+ b. x. t' d2 x# s& O2 W& f F! d' A1 I" t
7$ K4 b' `5 G1 P" G0 k
结论" b" U8 @/ v, _5 l% I- w$ J5 T
将BIC原理应用于波导设计是光学陀螺仪技术发展的重要进展。通过实现超低损耗和高品质因数,且无需复杂的刻蚀工艺,这种方法为实用、高性能集成光学陀螺仪提供了新的技术方案。7 Y8 W, X; { Q+ z o: L/ I
0 D& p7 [& A7 {" C6 _
参考文献
) t# |; K' V3 O% m" ^[1] Z. Yuan, J. Chen, D. Chen, S. Zhu, J. Yang and Z. Zhang, "An Ultra-Low-Loss Waveguide Based on BIC Used for an On-Chip Integrated Optical Gyroscope," Photonics, vol. 10, no. 4, p. 453, Apr. 2023, doi: 10.3390/photonics10040453
- Y6 m* v" k# N) U* }- Y! REND
- A. U4 `% [& r& n V5 B4 m/ L4 v' n" S( c$ D
软件申请我们欢迎化合物/硅基光电子芯片的研究人员和工程师申请体验免费版PIC Studio软件。无论是研究还是商业应用,PIC Studio都可提升您的工作效能。% [7 V& `4 E/ |0 `* S" M+ l# ^; i
点击左下角"阅读原文"马上申请
( z. A! ~( V9 J' x! s4 B0 Y; ?; g# d( g# {) t
欢迎转载1 ?/ @* E' x: S, G$ C" z
7 e- y6 f! {) |0 J7 L转载请注明出处,请勿修改内容和删除作者信息!
' \& t" L( E/ x, {
$ s. f0 l! _3 o- p( O# F. F+ w
2 J1 f9 X3 n, |" q
$ x* ^) ^" U0 F0 V. r) G0 Q7 C5 J" _9 |
qhbddjyyz0f6403306011.gif
( E" t* O6 S; ~3 w, d
, N; r. h2 c/ V" d关注我们
9 M5 P: U. i' d# X3 u% l# ~4 O4 ^9 Y2 y# O9 Y* y- M2 o& n
0 P' M( T6 x5 e% u/ u! `# y$ ?
i3kyhgqv1f36403306111.png
' g0 F2 h9 d! L% e+ t
|
/ j; u+ o3 j# W9 [' `3 d' g
jjywzulcgl46403306211.png
: C z2 d6 o# s2 L |
8 [4 X( `1 z! ~/ w
5uig5mrezl36403306311.png
% y" V2 l9 K: g7 h& V0 s& l
| # m! N& M5 ~ ]9 ^$ q8 F& C# i& Z9 ]
7 K$ G' f, b* y# g/ u
) d2 c; N$ y( {, U) T: w+ z9 A- e- z
关于我们:
! |* K1 }- b; H* H深圳逍遥科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家专注于半导体芯片设计自动化(EDA)的高科技软件公司。我们自主开发特色工艺芯片设计和仿真软件,提供成熟的设计解决方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分别针对光电芯片、微机电系统、超透镜的设计与仿真。我们提供特色工艺的半导体芯片集成电路版图、IP和PDK工程服务,广泛服务于光通讯、光计算、光量子通信和微纳光子器件领域的头部客户。逍遥科技与国内外晶圆代工厂及硅光/MEMS中试线合作,推动特色工艺半导体产业链发展,致力于为客户提供前沿技术与服务。, p3 M5 W/ ~# G) a" h, ~2 f
" v% }' X# V5 L; y: I2 I& b% O
http://www.latitudeda.com// J) ~8 s2 J* J5 L6 f7 z
(点击上方名片关注我们,发现更多精彩内容) |
|