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基于连续态束缚态的超低损耗波导在集成光学陀螺仪中的应用

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发表于 3 天前 | 显示全部楼层 |阅读模式
引言
+ }2 V+ `' i. l, h/ i+ Y微型化光学陀螺仪的研发已经成为集成光子技术研究的重要领域。传统的环形激光陀螺仪和光纤陀螺仪虽然具有较高的精度,但体积大、功耗高等特点限制了在便携式器件中的应用。本文探讨了利用连续态束缚态(BIC)创建超低损耗波导用于集成光学陀螺仪的创新方法[1]。; D4 `4 o3 d2 w( m# P: a# U

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! j4 O5 d' V9 o+ D. x1* l5 H! `  e1 e! K
基本原理与设计概念/ W# j0 ~* U7 G( B
核心概念围绕着BIC展开,BIC是一种独特的物理现象,光学模式可以与自由空间中的辐射模式共存而不发生耦合。让我们来观察这个系统的基本结构。
' ]3 D6 T% f7 c9 `

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图1:(a) 支持BIC模式的阿基米德螺旋波导结构的三维示意图,(b) 设计的螺旋波导结构的横截面,以及(c) 基于BIC结构的干涉型集成光学陀螺仪的示意图。
  Z' K- J+ l: [: |9 f, [+ ]
5 G$ u( X! V! n$ V+ M% M" r波导由三个主要层组成:低折射率聚合物波导高折射率硅(Si)层二氧化硅(SiO2)衬底。该结构无需刻蚀高折射率材料,解决了集成光学中长期存在的难题。) d' |5 b8 t3 A8 J  t2 p0 \" F
9 [' p0 @" Y! U
2
) {8 C7 i( {) l( z& S" z: ~BIC机制解析
2 O' \, u% ?% \  \BIC机制通过不同光学模式之间的复杂相互作用运行。9 H/ [8 N- N+ M& M& _

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+ E; f, f$ U7 Z* J2 i4 N" H
图2:(a) 支持BIC模式的混合波导结构的横截面,显示了TM束缚模式到TE连续谱的辐射通道,以及(b) 混合波导结构的光子势分布。; `# r- L3 ]2 n- D3 X& L4 C! j
! A" S3 ]& u+ j6 G
通过TM束缚模式和TE连续模式之间的耦合可以理解该机制。当左向和右向的损耗发生破坏性干涉并相互抵消时,就能实现无损耗的TM束缚模式——理想的BIC状态。
9 h3 ^0 d* A1 y8 @+ {% _/ d: J9 h% S5 p7 ]/ J) }3 x
3
0 x* v# `. |9 v9 {1 C; S电场分布与模式分析9 c; O  u2 K/ `6 p
电场分布揭示了BIC波导工作的关键特性。
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图3:(a) TM束缚模式和(b) TE连续模式的电场|E|分布,显示了不同的限制特性。
* d  f- D; y5 i/ l$ t/ k0 d
. {; m) n' a$ Z( N, |( h0 QTM束缚模式在聚合物波导下方的高折射率衬底中表现出强限制性,而TE连续模式在衬底中表现出场的扩展。
5 j: @, }/ S! q3 ]7 l3 ~+ J+ Q1 j2 g8 o' Q$ p
4
5 G; O6 b  |4 s& z  z8 l1 s  L0 }1 q性能特征) }& }, P$ i/ g/ G( E. y
BIC波导的性能较传统设计有显著提升。6 b) ~+ |. i5 p& L- R

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4 p* f  ^5 _$ I, F
图4:(a) 直波导结构示意图,(b) 不同波长下传播损耗随波导宽度的变化,(c) 1.55μm波长下的传播损耗曲线,以及(d) 品质因数随波导宽度的变化函数。% `' B5 N8 ^1 `& y# d

0 s; l% u6 ^# b8 [9 t模拟结果表明传播损耗达到4.232×10-6 dB/cm,品质因数达到1011,远优于传统波导平台。" j% R: W3 b2 [+ E- b9 ~) I

. I, Q5 s3 k5 _: g/ i+ |5
, C% q6 m$ `& M陀螺仪应用的螺旋波导设计) @$ G+ w/ e+ v2 {5 I+ y' w
实际应用采用阿基米德螺旋设计以实现最佳性能。4 e* n- _1 `- m/ q% s: E

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图5:(a) 设计用作无源敏感陀螺仪的阿基米德螺旋结构以及(b) 相邻波导结构之间的参数设置说明。& x% T" |1 T$ z+ e8 N8 G7 C

8 D! C- c$ ?& o5 o' o+ ^5 z螺旋结构在给定面积内实现最大包围面积和长度,优化了陀螺仪的灵敏度。设计充分考虑了相邻波导间的间距,在保持紧凑尺寸的同时最小化串扰。
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2 N' Z. K. c0 Z+ T6# T; {" n& K1 F' a2 A& W
性能分析与比较优势  i: v. V0 Q0 }4 `( y
基于BIC的陀螺仪设计展现出优越的性能指标。灵敏度可达0.6699°/s,传播损耗比传统集成波导低数个数量级。这些进展促进了高灵敏度、微型化光学陀螺仪的发展。4 F  A$ D4 g4 O- L

0 M6 S- q9 y- U7
* q8 L" \: G( v5 ]$ C" k结论
) l4 w" O# _6 k7 M: N2 h将BIC原理应用于波导设计是光学陀螺仪技术发展的重要进展。通过实现超低损耗和高品质因数,且无需复杂的刻蚀工艺,这种方法为实用、高性能集成光学陀螺仪提供了新的技术方案。  }" N1 Q: x7 m3 q6 P! @( _

' L/ l5 Y5 _5 K! T8 I) m参考文献* {" o* L  c# `4 P# Z8 R  _9 C# h
[1] Z. Yuan, J. Chen, D. Chen, S. Zhu, J. Yang and Z. Zhang, "An Ultra-Low-Loss Waveguide Based on BIC Used for an On-Chip Integrated Optical Gyroscope," Photonics, vol. 10, no. 4, p. 453, Apr. 2023, doi: 10.3390/photonics100404531 x" }1 ?1 b$ t) U
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) Y( w4 `/ n1 q) u% [$ w) V深圳逍遥科技有限公司(Latitude Design Automation Inc.)是一家专注于半导体芯片设计自动化(EDA)的高科技软件公司。我们自主开发特色工艺芯片设计和仿真软件,提供成熟的设计解决方案如PIC Studio、MEMS Studio和Meta Studio,分别针对光电芯片、微机电系统、超透镜的设计与仿真。我们提供特色工艺的半导体芯片集成电路版图、IP和PDK工程服务,广泛服务于光通讯、光计算、光量子通信和微纳光子器件领域的头部客户。逍遥科技与国内外晶圆代工厂及硅光/MEMS中试线合作,推动特色工艺半导体产业链发展,致力于为客户提供前沿技术与服务。- a/ i2 H+ S% j

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